| 励起光源ユニット |
| 光源 |
重水素ランプ（３０Ｗ） |
| 分光器 |
KV-200型窒素パージ分光器 |
| 逆線分散 |
約２ｎｍ／ｍｍ |
| 測定波長範囲 |
１３０ｎｍ〜２００ｎｍ |
| スリット |
幅 ：０．００５ｍｍ〜２．５ｍｍ（手動連続可変）
高さ：４ｍｍ |
| シャッター |
電動式 |
| 窒素使用量 |
約３リットル／ｍｉｎ |
| 真空紫外光集光ユニット |
| 集光系 |
トロイダル鏡にて試料に励起側分光器の出射スリットの像を１対１で結像(集光系と試料室はMgF2窓で仕切り、試料室の試料交換後の窒素パージを効率よく可能。） |
| 試料室 |
| 試料室ホルダ |
(ア)試料の置き方 ：垂直、平面内±４５度連続回転可能
(イ)試料のホルダ方式：上下スライド式、約６０ｍｍストローク
(ウ)蛍光測定用の試料ホルダー
(エ)ホールド基板
5mm×5mm×1mmt〜76mm×25mm×2mmt用 |
| 外部導入窓用ポート |
付属 |
| 蛍光集光系 |
付属 |
| 光ファイバ |
ＳＭＡ−ＦＣコネクタ付光ファイバコード
（コア径：４００μｍまたは、８００μｍ） |
| 真空排気ユニット 窒素パージ系 |
| 排気系 |
ドライポンプ 排気容量300L/min |
| 流量系 |
窒素流量可変用流量計 2〜20L/min.可変 |
| ストップバルブ |
（ア)窒素配管、入口・出口
(イ)ドライポンプ引き口 |
| 圧力計等 |
ピラニ真空計及び大気圧用圧力計 |
| 窒素使用量 |
約５L/min. |
| 架台 |
分光器と集光系・試料室を架装する架台 |
