| 測定波長範囲 |
１３０ｎｍ〜２６０ｎｍ
２００ｎｍ〜４００ｎｍ（オプションのフォトマル使用時） |
| 光源 |
重水素ランプ（３０Ｗ） |
| 測定光学系 |
ダブルビーム光学系 |
| 分光器 |
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| マウント |
瀬谷−浪岡方式 |
| 曲率半径 |
２００ｍｍ |
| 回折格子 |
凹面回折格子（ホログラフィック） |
| 刻線本数 |
１２００本／ｍｍ |
| ブレーズ波長 |
１５０ｎｍ |
| 逆線本数 |
４ｎｍ／ｍｍ（１５５．５ｎｍにおいて） |
| スリット |
幅：０．００５ｍｍ〜２．５ｍｍ（手動連続可変）
高さ：４ｍｍ固定 |
| 波長駆動方式 |
ステッピングモーター駆動方式 |
| 走査速度 |
600,300,150,60,30,15,6,3,1.5nm/mm |
| 波長／パルス |
０．０１ｎｍ／１パルス |
| 真空高温炉 |
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| 最高温度 |
２，０００度 |
| 温度範囲 |
常温〜２，０００度 |
| 雰囲気 |
真空、不活性ガス |
| 到達真空度 |
１０−６Ｔｏｒｒオーダー
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| 雰囲気圧力 |
０．０７ｋｇ／ｃｍ２
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| 均熱ゾーンサイズ |
１０ｍｍＷ×１０ｍｍＤ×１０ｍｍＨ |
| クライオスタット |
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| 温度範囲 |
４．２Ｋ〜５００Ｋ |
| 温度安定性 |
±０．１Ｋ |
| 試料スペース |
φ１５ｍｍ×３ｍｍ |
| 真空排気系 |
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| ターボ分子ポンプ |
５２０リットル／ｍｉｎ １台
１６０リットル／ｍｉｎ １台 |
| ロータリーポンプ |
８００リットル／ｍｉｎ １台
１５０リットル／ｍｉｎ １台 |
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