UV励起フォトルミネッセンス測定装置

 

model:MUVPL-193

 

本装置は、193nmのレーザ光を試料に照射して、発光するフォトルミネッセンスの分光計測を行う装置です。

 

■特長
  • 励起波長: 193nm
  • 高感度裏面入射型CCD
  • 紫外用反射光学系
  • 入射角可変: 0度、45度
  • 受光角可変: 20度〜70度
  • 試料XYZ軸スキャン可能 
  • 測定位置観察カメラ機能付
■仕様

レーザ波長

193nm

測定波長範囲

200nm〜400nm

波長分解能

3nm (半値幅)

検出素子

裏面入射型CCD

※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。
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model:MUVPL-213/325

 

本装置は、213nm、325nmのレーザ光を試料に照射して、発光するフォトルミネッセンスの分光計測を行う装置です。

 

■特長
  • 励起波長: 213nm、325nm
  • 高分解能モノクロメータ
  • 紫外用反射光学系
  • マッピング測定(オプション)
■仕様

レーザ波長

213nm、325nm

分光光学系

モノクロメータ+フォトマル

信号計測系

ロックインアンプ+チョッパー

※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。
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