本装置は、193nmのレーザ光を試料に照射して、発光するフォトルミネッセンスの分光計測を行う装置です。
レーザ波長
193nm
測定波長範囲
200nm〜400nm
波長分解能
3nm (半値幅)
検出素子
裏面入射型CCD
本装置は、213nm、325nmのレーザ光を試料に照射して、発光するフォトルミネッセンスの分光計測を行う装置です。
213nm、325nm
分光光学系
モノクロメータ+フォトマル
信号計測系
ロックインアンプ+チョッパー