プローバー製品 |
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| プローバーとは、ウェハーレベルで、ウェハ上に製作されたIC、LSI、LED、LD等の素子の電極に、プローブ（針）を当てて、電気的、光学的な検査を行う装置です。弊社のプローバーは、特に光学特性を測定することができることが特徴です。ＬＥＤ、レーザダイオード、ＶＣＳＥＬ等の発光素子の光学特性をウェハレベルで測定することが可能です。顕微鏡で観察しながら、ウェハ上の電極に対して、針を当てて、電流を流して、発光素子の光学特性測定（I-V測定 I-L測定 V-L測定 スペクトル測定）を行うために、必要な顕微鏡、プローバー、光検出器、光プローブ等で構成されています。 |
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■簡易プローバー |
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| 簡易プローバーは、プローブ（針）をマニュピレータ（ポジショナ）と試料台だけのシンプルな構造のプローバーです。プローブは、マニュピレータのZ軸ステージで上下させます。また、電極とのアライメントは、マニュピレータのXY軸ステージで調整します。プローバープレートの裏面に、I-L測定用の光検出器と発光スペクトル測定用光ファイバの取り付け部が配置されています。それらは、切り替えることが可能です。 |
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■マニュアルプローバー |
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| マニュアルプローバーは、プローブ（針）をマニュピレータ（ポジショナ）により、ウェハーの素子の電極に、顕微鏡を見ながら、アライメントさせて、プローブとマニュピレータをのせたプレートを下へ移動させることにより、プローブと電極を接触させます。プレートを上下させながら、ウェハの位置を変えて、複数の素子を順番に、測定することができます。 |
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■セミオートプローバー |
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| セミオートプローバーは、マニュアルプローバーと異なり、ウェハが上下します。また、ウェハを自動ステージにより、XY面（水平面）で移動させることにより、ウェハ上に製作された複数の素子を自動で、連続して測定することができます。プローブ（針）をマニュピレータ（ポジショナ）により、ウェハーの素子の電極に、顕微鏡を見ながら、アライメントさせます。ウェハは、Z軸自動ステージより上昇して、プローブと電極が接触して、測定を行います。次の素子に移動する際は、ウェハを下げて、プローブと電極が離れてから、次の素子の電極とプローブがアライメントされる位置に、ＸＹ軸自動ステージで移動させて、Ｚ軸自動ステージにより、ウェハを上昇させて、プローブと電極を接触させて、測定します。この作業を自動で繰り返すことにより、ウェハ上の多数の素子の測定を自動で行うことが可能です。 |
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