顕微時間分解自由キャリア吸収評価装置
MTRFCA-355
顕微時間分解自由キャリア吸収評価装置 MTRFCA-355
 
本装置は、パルスレーザー励起と時間分解自由キャリア吸収（Time-Resolved Free Carrier Absorption：TR-FCA）法を用いて、半導体材料中のキャリア再結合過程を高い空間分解能で評価する顕微時間分解測定装置です。
励起光源には355nmパルスYAGレーザー（パルス幅1ns、繰返し周波数100Hz）を使用し、試料内部に過剰キャリアを生成します。プローブ光には405nm連続発振（CW）レーザーを用い、自由キャリア吸収による透過光強度の時間変化を高速フォトディテクタで測定します。励起光照射後のプローブ光透過率の時間変化を解析することにより、キャリアライフタイムを非接触・非破壊で評価することが可能です。
励起光は可変アパーチャを用いてスポット径を変更でき、顕微鏡光学系により試料へ高精度に集光されます。プローブ光は約1μmまで集光され、励起領域と重ね合わせることにより、高い空間分解能でキャリアライフタイム分布を測定できます。試料をステージ上で走査することで、深さ方向および面内方向のキャリアライフタイム分布を評価することが可能です。
本装置は、SiCをはじめとするワイドバンドギャップ半導体材料のキャリアライフタイム評価、キャリアライフタイム分布測定、欠陥評価および結晶品質評価に適した顕微時間分解自由キャリア吸収測定システムです。

■特長
・355nmパルスYAGレーザーによる時間分解光励起
・405nm CWレーザーによる時間分解自由キャリア吸収（TR-FCA）測定
・顕微鏡光学系による高空間分解能測定
・自由キャリア吸収の時間変化を利用した非接触・非破壊評価
・キャリアライフタイムおよびキャリアライフタイム分布の測定
・励起スポット径可変による測定領域の最適化
・SiCなどワイドバンドギャップ半導体材料の評価に最適

■仕様
励起光波長 355nm
レーザクリンナップフィルタ Transmission Band 1：Tabs > 80% 355 nm
Center Wavelength 1：355 nm
FWHM Bandwidth 1 (nominal)：1.3 nm (typical); 2.5 nm (maximum)
Blocking Band 1：ODabs > 5 314.8 – 351.5 nm
Blocking Band 2：ODabs > 6 326.6 – 349.7 nm
Blocking Band 3：ODabs > 6 360.3 – 390.5 nm
Blocking Band 4：ODabs > 5 358.6 – 422.5 nm
基本波、第二高調波遮断機能 前置分散光学系による。
レーザ出力調整光学系 1/2波長板と偏光子光学系による。
プローブ光波長 405nm
レーザクリンナップフィルタ Transmission Band 1：Tavg > 90% 400 – 410 nm
Center Wavelength 1：405 nm
FWHM Bandwidth 1 (nominal)：14.5 nm
Blocking Band 1：ODavg > 3 358 – 389 nm
Blocking Band 2：ODavg > 5 361 – 384 nm
Blocking Band 3：ODavg > 5 428 – 457 nm
Blocking Band 4：ODavg > 3 420 – 466 nm
測定スポット 3μm（理論光学直径　@405nm）
対物レンズ 40倍　波長範囲：325nm～500nm
結像レンズ 1倍　波長範囲：355nm～1064nm
励起光カットフィルタ Transmission Band 1：Tavg > 93% 359.6 – 800.8 nm
Edge Wavelength 1：357.8 nm
Blocking Band 1：ODabs > 6 355 nm
Blocking Band 2：ODavg > 6 200 – 355 nm (typical)
測定波長選択フィルタ Transmission Band 1：Tavg > 87% 400 – 410 nm
Center Wavelength 1：405 nm
Guaranteed Minimum Bandwidth 1：10 nm
FWHM Bandwidth 1 (nominal)：14.1 nm
モニタカメラ 高感度UV CCD　波長範囲：200nm～700nm
励起光+プローブ光カットフィルタ Transmission Band 1：Tavg > 93% 421.5 – 900 nm
Edge Wavelength 1：418 nm
Blocking Band 1：ODavg > 5 270 – 324 nm
Blocking Band 2：ODabs > 6 324 – 410 nm
高分解能XYZ軸位置決めステージ 最小分解能：10nm
移動量：20mm
繰返位置決め精度：±20nm
最大移動速度：10mm/sec
過渡吸収測定光検出器 波長範囲：230nm～870nm
時間特性：0.57nsec
サイズ 1200mm×600mm

※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。