4インチ用セミオートプローバー |
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| 本装置は、4インチウェハ上に形成された多数のデバイスを自動で連続測定するためのセミオートプローバーです。 プローブ（針）はマニピュレータ（ポジショナ）により、顕微鏡で観察しながら各デバイスの電極へ高精度に位置合わせ（アライメント）を行います。測定時には、Z軸自動ステージによりウェハを上昇させてプローブを電極に接触させ、電気特性を測定します。 測定終了後は、ウェハを下降させてプローブとの接触を解除し、XY自動ステージにより次の測定位置へ移動します。その後、再びZ軸自動ステージでウェハを上昇させて測定を行います。この一連の動作を自動で繰り返すことにより、ウェハ全面にわたる多数のデバイスを効率よく連続測定することができます。 本装置は、4インチウェハを対象とした半導体デバイスの研究開発、特性評価および品質評価において、測定の自動化・省力化を実現するとともに、測定時間の短縮と高い測定再現性に貢献します。 |
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■仕様 |
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※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
