光学特性測定用マニュアルプローバー
MMPS-50-IVLS |
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| 裏面発光タイプの光半導体デバイスのI-V-L（電流-電圧-光出力）特性及び、発光スペクトルを測定するためのマニュアルプローバーです。プローバーとは、ウェハーレベルで、ウェハ上に製作されたIC、LSI、LED、LD等の素子の電極に、プローブ（針）を当てて、電気的、光学的な検査を行う装置です。弊社のプローバーは、特に光学特性を測定することができることが特徴です。ＬＥＤ、レーザダイオード、ＶＣＳＥＬ等の発光素子の光学特性をウェハレベルで測定することが可能です。顕微鏡で観察しながら、ウェハ上の電極に対して、針を当てて、電流を流して、発光素子の光学特性測定（I-V測定 I-L測定 V-L測定 スペクトル測定）を行うために、必要な顕微鏡、プローバー、光検出器、光プローブ等で構成されています。 |
■仕様 |
| サンプルステージ |
ウェハサイズ：〜２インチ
ＸＹ軸 移動範囲：各±２０ｍｍ
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| プラテン |
昇降可 移動範囲：４ｍｍ
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| プローブ針（同軸針） |
材質：タングステン
先端半径：１２．５μｍ
数量：２本
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| マニピュレータ |
ＸＹＺ軸移動範囲：各１０ｍｍ
トラベル量：各２５０μｍ回転
数量：２個
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| 実体顕微鏡 |
倍率：７倍〜４５倍
照明：ＬＥＤリング照明
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| 光検出部 |
1 フォトダイオード（感度波長範囲：200nm〜1100nm）
2 光ファイバプローブヘッド
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| ベースプレート |
サイズ：３００ｍｍ×３００ｍｍ
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■LED測定時の写真 |
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※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
