マイクロＬＥＤ発光パターン顕微観察システム
MMLEDMSS-NUV-VIS-BP
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本製品は、マイクロLEDの微細発光パターンを高精度に観察・測定するために開発された専用装置です。コンパクト設計のプローバーユニットと、近紫外〜可視光域に対応した高性能顕微鏡を組み合わせ、マイクロLED素子の裏面および表面からの発光状態を詳細に観察することが可能です。さらに、標準搭載のビームプロファイラー計測ユニットにより、発光パターンの光強度分布を定量的に測定・解析することができます。
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■仕様 |
| プローバー部 |
| プローブ針 | 材質：タングステン
先端角度：5度
先端半径：5μm |
| マニピュレータ | 全ストローク（X、Y、Z）：各10mm
トラベル量（X、Y、Z）：各250μm 回転
搭載数：2台 |
| 裏面観察用ウィンドウ | 有効径：直径5mm |
| XY軸 | 移動量：±6.5mm |
| Z軸 | 移動量：±5mm |
| 水平スライド軸 | 移動量：±50mm |
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| 顕微鏡部 |
| 波長範囲 | 収差補正範囲：355nm〜620nm |
| 対物レンズ | 10倍 |
| レボルバ | 対物レンズ切替え個数：4ケ穴 |
| フィルターポート | 2ポート |
| 光入出力ポート | 1ポート |
| NDフィルタ | 0D0.3、1.0、2.0、3.0
ARコート：350〜700nm |
| カメラ | 撮像素子：CMOS白黒イメージセンサ
撮像面積：6.41(H)×4.59(V)mm
画素サイズ：1.67(H)×1.67(V)μm
波長範囲：400nm〜900nm
ソフトウェア：プロファイル測定機能付 |
| 照明 | 白色LED(400〜700nm) 同軸落射照明 |
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| ビームプロファイラー部 |
| 波長範囲 | 190nm〜1100nm |
| ビームサイズ | 44μm〜5.3μm |
| センサタイプ | シリコンCCD |
| 有効ピクセル数 | 1624×1124 |
| 有効ピクセルサイズ | 4.4μm |
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■測定例 |
2D
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3D
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発光点サイズ：5μm
波長：405nm
対物レンズ：100倍
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| ※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
■マイクロLEDについて |
| マイクロLED（Micro Light Emitting Diode）は、個々のLED素子をマイクロメートル（通常は10〜100μm）サイズに微細化した自発光型ディスプレイ・光源用の半導体素子です。極めて小型の発光素子を高密度に並べることで、従来の液晶や有機ELを超える高輝度・高コントラスト・高速応答・長寿命といった特長を実現します。近年では、スマートウォッチやスマートフォンの次世代ディスプレイ、AR/VR用ヘッドマウントディスプレイ、大型壁面ディスプレイ（デジタルサイネージ）、車載ディスプレイ、医療用ディスプレイ、さらにはヘッドアップディスプレイ（HUD）など、幅広い分野での応用が進められています。また、優れた応答速度と高輝度特性を活かし、Li-Fi（可視光通信）や光センシング、バイオメディカル分野での利用も期待されています。今後、マイクロLEDは高精細映像表現のみならず、次世代の情報表示・通信・センシング技術の中核を担う要素技術として、その重要性を高めつつあります。 |
