NFP測定用深紫外顕微鏡 |
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| 本装置は、発振波長275nmの深紫外レーザーダイオード（DUV-LD）の近視野像（NFP：Near Field Pattern）を測定するための深紫外顕微鏡です。 深紫外光に対応した80倍の対物レンズと紫外CCDカメラを用いて、レーザーダイオードの発光面を高倍率で観察し、NFPを測定します。 レーザー出力に応じて検出光量を適切に調整できるよう、透過率の異なる2枚のNDフィルターを搭載しています。各NDフィルターは自動回転ステージによって制御され、必要に応じて紫外CCDカメラの検出光路へ挿入できます。 また、試料観察用の照明光源として波長275nmの深紫外LED（DUV-LED）を採用しています。レーザーダイオードを発振させることなく発光面を観察できるため、測定位置および焦点を確認・調整した後、NFP測定へ円滑に移行できます。これにより、深紫外レーザーダイオードの発光状態を高倍率で正確かつ効率的に評価できます。 |
※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
