コンパクトプローバーユニット
MCPU-140-23W

ウェハ歪モニター
 
発光デバイスに電流を流して、評価を行うためのコンパクトプローバーです。実体顕微鏡で観察しながら、発光デバイスの電極とプローブ針の位置合わせを行い、接触させて、発光デバイスに電流を流します。ポータブル設計のため、電極とプローブ針を接触した状態で、本ユニットを他の測定器と組み合わせて、電流−光出力特性測定、波長測定、発光画像解析等、各種測定が可能です。裏面からの発光観察ができるための合成石英窓を有しています。

■仕様

プローブ針 材質:タングステン
先端角度:5度
先端半径:25μm
マニピュレータ 全ストローク(X、Y、Z):各10mm
トラベル量(X、Y、Z):各250μm 回転
搭載数:2台
裏面観察用ウィンドウ 材質:合成石英
厚さ:1mm
有効径:23mm
サイズ W140mm × D100mm × H63.8mm
※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。